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超聲波清洗在硅片行業(yè)的應(yīng)用

返回列表 來源:聲宇 瀏覽:- 發(fā)布日期:2015-11-17 15:34:00【

半導(dǎo)體材料的制作過程中,每一個(gè)過程包括清潔,清洗直接影響到下一道工序,甚至?xí)绊懺O(shè)備的成品率和可靠性。

晶片生產(chǎn)的每一個(gè)過程的潛在的污染可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生缺陷和設(shè)備故障。因此,超聲波清洗機(jī)設(shè)備的小編表示,硅片的清洗已經(jīng)引起專業(yè)人士的關(guān)注。許多制造商都用手洗,這種方法人為的因素,一方面,容易碎裂,經(jīng)濟(jì)衰退,另一方面手洗的晶圓表面清潔度,污染嚴(yán)重,下道工序投擲腐蝕合格率較低。硅片清洗技術(shù)已引起人們的重視,找到一個(gè)簡(jiǎn)單而有效的清洗方法是當(dāng)務(wù)之急。專業(yè)介紹了一種超聲波清洗技術(shù),超聲波清洗機(jī)設(shè)備的小編表示,晶圓清洗效果顯著,是一種值得推廣的晶圓清洗技術(shù)。

如顆粒,有機(jī)雜質(zhì),無機(jī)雜質(zhì),金屬離子,硅粉和灰塵,從而導(dǎo)致研磨后的硅晶片容易產(chǎn)生改變花的頭發(fā),藍(lán)色,黑色等,所以研磨失敗。硅片清洗的目的是去除各種污染物。